非接触式クリーナー
ドライエア洗浄方式の非接触洗浄装置
接触させたくないデリケートな素材や凹凸部をターゲットとしたクリーニングを行うことができます。各種電子部品、パネル、フィルム等の多様な製造プロセスで歩留り向上に貢献します。
≪特徴≫
・片面もしくは両面同時にクリーニングを行うことができます。
・凹凸部の異物を効率よく除去することができます。
・ドライ洗浄方式のため、水・薬液の交換や高コストなインフラ整備が不要です。
・非接触方式のため、対象製品への影響を最小限に抑えられます。
・セパレートブロワシステムにより、吐出及び吸引エア量の個別設定が可能です。
ノズルヘッド構造と除塵メカニズム
・中央に吐出（吹出し）口、その両側に吸引（吸い込み）口を設けることにより、 吐出口より吐出したエア（吐出後は対象製品から舞上った異物を含む）を外部に漏らすことなく吸引します。
・ノズル前後に設置した整流板により外部より流入する空気を制限することで、整流板から吸引口までの流れが形成され、
①吐出エアを効率よく吸引口に導きます。
②大型の異物が吸引口に近づくだけで効率よく吸引出来る効果があります。
セパレートブロワについて
吐出、吸引、それぞれ別のブロワモーターで制御します。
・エアバランスの調整が容易で、最適にコントロールすることができます。
・吐出エアは室内エアから取り込み、プレ/HEPA両フィルタを通して吐出されます
・吸引したエアは外部排気します。
